而且，膜层附着力单位由于地表在运输和处理过程中仍然暴露在大气中，因此不可避免地会吸收环境气体、水蒸气和微尘。如果不处理，会导致膜层与基板之间的粘结较弱，产生针孔和颗粒。等离子清洗机加工完玻璃材料后可以立即进入下一步的加工过程。因此，玻璃等离子清洗机是一个稳定高效的过程。
因此，玻璃膜层附着力单位级图案转移所需的光刻胶厚度也可大幅降低，可显著增加光刻工艺的图案显影精度，降低噪声的影响，提高安全工艺窗口；同时，先进图案材料掩膜层技术还具有更高的接触孔尺寸收缩能力和更多不同的接触孔圆度，说明先进图案材料多层掩膜技术能够更好地传递图案，具有优异的工艺集成工艺窗口，应用广泛用于当前最前沿的逻辑集成电路制造工艺。。
通道通孔蚀刻的控制要求主要包括:硬掩膜层的选择性;(2)通孔侧壁的连续性;等离子表面处理机等离子清洗机刻蚀槽沟道透孔蚀刻的靶材与缺口蚀刻的靶材相同，膜层附着力单位不同之处在于前者是孔，后者是槽。在实现过程中，由于图形的不同，蚀刻保护平衡也不同。同时，也导致了蚀刻机空腔工作环境的差异。由于通道透孔蚀刻和缺口蚀刻要求工艺精度高，为了避免两种工艺造成蚀刻腔工作环境不稳定，主流厂家一般采用单独的蚀刻机来完成相应的工艺。
一般选用铝合金材质，玻璃膜层附着力单位级因为其具有良好的加工特性，同时质量轻，便于运输。玻璃和陶瓷材质虽然在等离子清洗工艺中使用效果更佳，但在工厂批量生产中不利于运输与操作。图三 等离子清洗用镂空料盒等离子清洗有利于电子封装铝线键合的可靠性，能增强焊线工艺的稳定性。在使用等离子清洗工艺时，需结合等离子清洗机腔体的结构，设计合适的料盒，合理摆放料盒在...
