1、等离子体化学与工艺 赵化桥pdf（等离子体刻蚀设备中的静电吸盘） 由于具有高的能量密度和电子密度使得电弧放电可以在相对低的电场（通常500-5000Vm-1）下达到107-109Am-2的高电流密度。电弧的温度可以达到5000-50000K。1.2等离子体炬技术人们已研制开发了各种各样的等离子体炬。图1示意性的画出了两种典型的等离子体炬构型，等离子体化学与工艺 赵...
