在平行板反应器中，电极电晕处理机反应电晕刻蚀腔选择小阴极面积和大阳极面积的非对称方案，待刻蚀物放置在面积较小的电极上。在进行电晕刻蚀操作时，射频电源产生的热量使质量小、移动速度快的负电荷自由电子快速到达阴极，而正离子由于质量大、速度慢，难以同时到达阴极。然后，在阴极附近会形成带负电荷的鞘层。
清洗材料要求：氢氧化钠、硫酸、城市水、蒸馏水。注意：请勿使用手磨、砂纸或磨损、喷砂等机械方法进行清洗；氢氧化钠溶液会与铝发生剧烈反应，电极电晕处理机因此应注意确保只有在必要的时间才清除沉积物；反应中产生的氢气可能具有爆炸性，因此工作区域应保持良好的通风。清洁电极整修步骤：（1）断开真空箱的沸水，接通电源，然后切断电源，取出接地极。
工艺需要时，陶瓷电极电晕处理机维修电极板必须保持在一定的温度范围内，所以电晕清洗后的电极一般都是加水冷却。摆放提示：多层电晕清洗设备生产能力高，可根据需要在每层支架上放置多个晶圆。更适用于半导体分立器件、电力电子元器件4英寸、6英寸晶圆的光刻底膜清洗。如果您对设备感兴趣或想了解更多详情，请点击在线客服咨询，等待您的来电！。晶圆的干洗电晕蚀刻机应采用何种电晕清洗；晶圆清洗可分为湿式清洗和干式清洗。
与电晕接触后，陶瓷电极电晕处理机维修可在短时间内去除残留的光刻胶、树脂、溶剂残留物等有机污染物。密封板材制造商使用真空电晕清洁器去污和蚀刻去除钻孔中的绝缘层。对于很多产品来说，无论是否应用于工业领域，以及电子、航空、医疗保健等行业，可靠性都取决于表面之间的结合强度。无论是金属、陶瓷、聚合物、塑料还是它们的复合表面，电晕都能提高附着力和产品质量。。
电极电晕处理机
