等离子刻蚀的原理可以概括如下： 1.在低压下，附着力促进剂作用原理反应气体被高频功率激发以产生电离并形成等离子体。等离子体由带电的电子和离子组成。在激波电子的情况下，空腔内的气体可以吸收能量，不仅转化为离子，还形成大量的活性基团。 2、活性反应基团与被蚀刻物质表面发生化学反应，形成挥发性物质。反应产物； 3. 反应产物从蚀刻材料表面分离出来，通过真空系统抽出空腔。
这也称为等离子体状态。。等离子清洗机-等离子清洗原理：等离子是一种物质的存在状态，硅醇化合物附着力促进剂通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在特殊情况下，有物质等4种状态。是第二种状态。在地球大气层的电离层中。 & EMSP; & EMSP; 以下物质以等离子体状态存在：快速运动的电子、活化的中性原子、分子、自由基、电离的原子和分子、未反应的分子、原子等。该物质总体上保持电中性。
等离子（plasma）清洗技术原理：等离子体与物体表面的作用在等离子体中除了气体分子、离子和电子外，硅醇化合物附着力促进剂 还存在受到能量激励状态的电中性的原子或原子团 （又称自由基），以及等离子体发射出的光线。其 中波的长短、能量的高低在等离子体与物质表面相 互作用时有着重要作用。
由上可知，附着力促进剂作用原理等离子体表面处理设备清洗油污的过程可以理解为大分子逐渐降解，形成H2O、CO2等小分子，以气体形式清洗的过程。氧等离子体的形成过程可以用以下六个反应来表示：1)O2-O2+e(1)2)O2-2O(2)3)O2+e-O2+e(3)4)O2+e-O2+hv+e(4)5)O2+e-2O+e(5)...
