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真空等离子表面处理机真空泵排气阀进行拆解:1、拆除排气阀片护盖,紧固件镀层附着力检测折下坚固的护盖螺丝,取下护盖,注意不要损坏密封圈;2、拆开排气阀片的压板。3、拆卸排气阀片。拆卸真空等离子表面处理机真空泵转子:1、拆卸转子紧固螺钉;2、拆下小旋盖,同时检查小旋盖磨损情况;3、拆解第二级转子气缸腔,检查第二级旋片磨损情况,注意检查油路是否堵塞。

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自检反响室门的密封条是否松动。查每条输气管路是否衔接紧固,紧固件镀层附着力检测是否老化。 4.查电源的真空等离子清洗机,电压是否与设备匹配。在线等离子清洗机的详细保护:1.自检真空泵油位和油的纯度,每月自检真空泵油位和油的纯度,调查油位窗口。当油位挨近Z低红线刻度时,添加到油红标线上下之间;调查油的色彩。正常油洁净通明。当油浑浊(油色彩变灰或油位窗口模糊),真空泵噪音异常时,及时更换真空体油。2.在线等离子清洗机清洗反响室。

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