等离子处理工艺是干法工艺，层间附着力机理与湿法工艺相比有很多优点，这是由等离子本身的特性决定的。整个高压电离的电子中性等离子体具有高活性，不断与材料表面原子发生反应，使表面材料不断受到气态材料的激发而挥发，达到清洗的目的。 它是一种清洁、环保、高效的清洗方法，在印刷电路板制造过程中具有很强的实用性。。电路板等离子清洗机：印刷电路板，尤其是高密度互连板的制造，需要孔金属化，因此层间的导电是通过金属化孔。
1、提高复合材料的界面结合性能：可采用等离子清洗技术，纳米压痕仪测膜层间附着力有效避免化学溶剂对材料性能的破坏。在清洁材料表面时，会引入各种活性官能团，以改善表面粗糙度和纤维表面。自由能有效地加强了树脂和纤维之间的结合。纤维界面之间的结合提高了复合材料的整体性能。结果表明，在适当条件下采用等离子法洗涤芳纶纤维显着提高了聚芳醚酮酮树脂的层间剪切强度及其界面性能。
通过控制工艺时间和刻蚀量，纳米压痕仪测膜层间附着力可以达到控制硅化物损伤的目的。等离子体器件的应力越接近蚀刻，金属硅化物损伤越严重，金属硅化物的电阻越高。另一方面，由于侧墙被完全或部分去除，降低了后续填充的纵横比，提高了后续接触通过停止层和层间介质层的填充性能。。等离子器具中废气处理的应用和技术在当前的工业生产活动中应用更为广泛，废气处理设备多种多样，需要根据具体情况进行废气处理。
等离子清洗机 清洗效果 前后对比图3.在真空腔体里通过射频电源，层间附着力机理在一定的压力情况下起会产生等离子...
