等离子体中带电粒子之间的相互作用非常活跃，对金属附着力好UV树脂利用这一性质可以实现各种材料的表面改性。等离子技术在表面技术中的应用主要有以下几个方面。 1、等离子表面处理：为提高工具、模具等的性能，可用等离子对金属表面进行氮、碳、硼或碳和氮的浸润。这种方法的一个特点是，不是在表面添加涂层，而是改变了基材表面的材料结构和性能。由于加工时工件的温度比较低，所以工件不会变形。这对于精密零件非常重要。
负载效应越小，对金属附着力好UV树脂所设计的金属连接图案保真度越高；图案可以严格地从掩模通过曝光显影转移到金属硬掩模层，金属硬掩模的侧壁轮廓角近似垂直，这是工艺集成对金属硬掩模层蚀刻工艺的要求。大型等离子清洗机典型的金属硬掩模层蚀刻工艺一般是以光刻胶和底部减反射层有机材料为单一蚀刻掩模的结构。。等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效避免了液体清洗介质对被清洗物造成的二次污染。
玻璃光学镜片等离子清洗机 树脂镜片等离子清洁机 UV/IR镜片活化等离子清洗机功用： 对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物外表的有机污染物 （如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等）进行超清洗。 改动某些资料外表的功能。 使玻璃、塑料、陶瓷等资料外表活化，羧基对金属附着力的影响加强这些资料的粘附性、相容性和浸润性。 清除金属资料外表的氧化层。 对被清洗物进行消毒、灭菌。
表面得到了清洁，对金属附着力好UV树脂等离子处理器工作示意图去除了碳化氢类污物，如油脂，辅助添加剂等，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基...
