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而有些工艺只需去除或选择性蚀刻晶圆表面的外露材料,漆膜附着力差不需要带电粒子引起的物理轰击和定向蚀刻。远程等离子刻蚀机可以满足这些工艺的需要。远程等离子体刻蚀机的等离子体产生和刻蚀反应是在不同的腔室中完成的。反应气体进入等离子体激发室,在外加电场或微波作用下电离产生等离子体,再通过管道或特定过滤装置进入蚀刻室。带电粒子在传输过程中会被管壁或特定装置过滤掉。中性自由基会进入反应室,与待蚀刻晶圆发生反应。

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