3、很多情况下，试附着力的方法等离子清洗设备的损坏也可能是燃烧器烧坏造成的，防止这种情况的方法是注意等离子清洗设备在没有一次风道的情况下的运行时间。需要花时间。否则，燃烧器会烧坏，您需要更换（更换）新的燃烧器。 4、正确设置等离子设备的运行参数，并按照设备使用说明书进行操作。 5、保护等离子点火器，使等离子清洗机正常启动。 6、启动前需要准备好等离子设备。
氩等离子体具有清洁材料表面而不留下任何氧化物的优点。缺点是在其他不良区域可能会出现过度腐蚀或污染物颗粒再次堆积，试附着力的方法但这些缺点可以通过微调工艺参数来控制。物理和化学反应在等离子体表面处理清洗中都起着重要的作用。例如，在在线等离子体表面处理中使用Ar和O2的混合物时，反应速度比单独使用Ar或O2要快。氩离子被加速后，产生的动能可以提高氧离子的反应性，因此可以通过物理和化学方法对污染较严重的材料表面进行清洗。
可提高整个工艺线的加工效率；2.等离子清洗使用户远离有害溶剂对人体的危害，试附着力的方法同时避免了湿式清洗中清洗物易被冲洗的问题；三是避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后就不会产生有害污染物，所以这种清洗方法属于环保绿色清洗方法。这在世界高度关注环境保护的当下，越来越显示出它的重要性；4.无线电波范围内高频产生的等离子体不同于激光等直射光。
在10nm工艺中已经利用CO-H2成功地形成了光刻等离子体蚀刻关键尺寸差异小于1nm，试附着力的方法直径15nm 的接触孔。 越来越接近硅半导体的瓶颈，新材料不断地涌现，且实现的器件也越来越多，并更接近量产。这些即将出现在半导体集成电路里面...