在低压(13~1300Pa)下对气体施加高频电场时,气体原子或分子与具有一定能量的电子发生碰撞,电离产生由离子、电子及中性原子和分子组成的等离子体。这种低温等离子体的电离度小,相当部分是处于激发态的原子和分子,具有很强的化学活性，1300附着力促进剂当与被刻蚀物接触时，发生化学反应生成挥发性物质,达到刻蚀目的。由于在低温(50~200℃)等离子刻蚀中,离子动能小，主要是活性物质(活性基)的化学反应,几乎无轰击作用。
这种高压等离子清洗机，1300附着力促进剂其高压泵质量好，结构杂乱，成本高，是高端用户的选择。。有三种常用的等离子体激发频率。激发频率为40 kHz的等离子体为超声波等离子体，13.56 MHz的等离子体为射频等离子体，2.45 GHz的等离子体为微波等离子体。超声波等离子的自偏压在0V左右，高频等离子的自偏压在250V左右，微波等离子的自偏压很低，只有几十伏，3.等离子体的作用机制不同。
使用频段（中频40KHZ，1300附着力促进剂高频13.56MKZ），微波频段2.45GHZ。否则会影响无线通信。一般情况下，等离子体的产生和材料清洗效果因工艺气体、气体流量、功率、时间等不同而不同。从等离子清洗技术的角度来看，PBGA板上的引线的连接能力是不同的。。等离子清洗技术提高了复合材料制造工艺的性能。
等离子清洗剂利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，1300附着力促进剂达到清洗、镀膜等目的。等离子体按气体可分为以下两种。活性气体和惰性气体等离子体：根据产生等离子体的气体的化学性质，可分为惰性气体等离子体和活性气体等离子体。气体包括氩气（Ar）、氮气（N2）、三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）和空气等惰性气体，以及氧气（O2）和氢气（H2）等活...
