辉光等离子体的产生需要氮气和氦气等惰性气体的参与，表面改性的工艺是什么因为这些气体可以产生具有高活性和彭宁效应的亚稳态粒子。DBD等离子清洗机的电极结构传统而常见，如图1所示。常用于材料表面改性和臭氧发生器。其特点是结构简单，金属电极能提高放电产生的换热率。DBD等离子清洗机的第二电极结构是放电发生在两个介质层之间，可以避免等离子体与金属电极之间的直接接触;同时，与单一介质层相比，等离子体更加均匀，放电线更细。
由于制备过程中低温等离子体装置的真空室中存在少量有机杂质，表面改性的工艺是什么这些杂质往往吸附在基片表面，导致所得材料中强而宽的特征峰增加。光谱。会对被测分子的实际信号造成严重干扰。许多研究人员已经认识到这个问题，并进行了各种尝试来去除 SERS 基板上的表面杂质。
离子设备喷射出来的等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，金属腐蚀与防护表面改性大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键；但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，没有磨损，不影响基体的性能。经过等离子设备处理后，对表面进行了有效的活化与清洗，提高了表面的附着能力，有利于涂层或印刷，使得表面的粘接变得可靠和持久。
PTFE材料效果好不好取决于是否经过等离子清洗机处理：等离子清洗机的表面处理工艺可以创造PTFE材料表面清洗、蚀刻、活化、改性等改进处理，表面改性的工艺是什么改善和增强PTFE四氟乙烯对金属材料、塑料、硅胶、瓷、金属材料和粘合剂的附着力。与传统萘钠溶剂蚀刻加工方法相比，低温等离子体表面处理技术应用周期短，在工业化生产和批量生产中也没有取得一致的专业认证。
