低温等离子体清洗设备技术的最大特点是等离子体清洗机的等离子体发生装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，油漆附着力有高低温用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离以及分子或离子的自由运动距离越来越长，在电场作用下，它们碰撞形成等离子体，这些离子具有很高的活性，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面上引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性质。
此外，油漆附着力有高低温低温等离子废气处理设备还有占地面积小；电子能量高，简直能够和所有的恶臭气体分子效果；作业费用低；反响快、停止十分迅速，随用随开。
低温宽等离子活化机等离子体的常见物理清洗工艺是氩等离子体清洗。氩本身是惰性气体，油漆附着力有高低温等离子体氩不与表面反应，而是用离子轰击来清洗表面。氧等离子体清洗是PLASMA化学清洗的常见方式。电浆产生的氧自由基非常活跃，易与烃类化学反应，产生CO2、H2O等挥发性物质，因此能清除表面污染物。。
简而言之，油漆附着力有高低温自动清洗台是多片同时清洗，其优点在于设备成熟，产能高，而单片清洗设备则是逐片清洗，优点在于清洗精度高，可以有效地清洗背面、斜面和边缘，同时避免晶片之间的交叉污染。在45nm以前，自动清洗台即能满足清洗要求；而低于45nm时，依靠单晶圆清洗设备来达到清洗精度要求。当今后半导体工艺节点不断减少时，单晶圆清洗设备成为可预测技术下的主流清洗设备。工艺点减少挤压良率，促进清洗设备的需求上升。
钢件油漆附着力不足原因
