真空等离子清洗机的通常工艺是：首先，后喷漆附着力不好将工件固定在真空室内，经由真空泵等设备启动真空电离到十pa左右；然后将等离子清洗体：O2、H2、Ar、N2的不同气体和清洗材料根据工艺要求导入真空室，并保持压力约为 pa；在真空室内的电极和接地装置之间加入高频电压，使气体渗进去，等离子体被辉光放电离化；当等离子体可以覆盖在真空室内后开始清洗工作，清洗过程将持续数十秒到数分钟。
根据清洗材质的不同，真空镀膜后喷漆附着力不好可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3）在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4）清洗完毕后切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。
因此，后喷漆附着力不好加工过程中容易出现灰尘和（机械）污染，容易出现芯片损坏和短路。为了解决这些加工问题，将真空等离子体装置的表面处理装置引入到后续的处理过程中进行预处理。选择真空等离子设备是为了更好地保护产品，同时又不影响晶圆表面的性能。真空等离子设备用于去除表面（机械）和杂质。 OLED包括真空等离子清洁器TSP的作用。
用石墨球进行定位组装时，后喷漆附着力不好在船体表面存在大量的石墨颗粒漏(留)，为了避免石墨颗粒对产品的污染，必须对石墨棒进行严格清洗；其次，必须对装配定位石墨颗粒进行严格清洗；其次，必须对装配定位石墨颗粒进行退氢处理，以减少其加工过程中石墨零件表面的其他污染物；要确保金属部件的清洁，使用的金属部件及...
