用氧气等离子清洗，附着力六大要素分别是其中氧气主要与污染物发生氧化反应，特别是对有机污染物效果尤为明显，清洗过程反应式如下：O2*+有机物→CO2 +H2O （4）式（4）表明，处于激发态的氧气分子与有机物发生反应，生成CO2和水蒸气，对有机污染物比较有效。另一方面，由于O2作为典型的反应性气体，本身具有很强的化学活性，可直接与聚合物表面的分子链结合，改变材料表面的化学组成和性质。
因此通常只用等离子清洗厚度在几个微米以下的油污。由于等离子体清洗过程需要进行真空处理，文案附着力六个原则案例而且一般为在线为在线或批量生产，因此在把等离子体清洗装置引进生产线时，必须考虑到被清洗工件的贮存和移送的问题，特别是当被处理工件体积较大，数量较多更应考虑到这个问题。
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