由于体积上的缺点，等离子体活化水土壤盐分研究人员开发了一种低温等离子体发生器。如果气压低于 10 PA，则不会发生异常辉光放电。等离子体可以通过从高频激发的微波或热射线发射的高能电子冲击电离产生。这些低压等离子体充满了整个处理空间，含有大量的活性原子并提高了氮化效率。在射频低温等离子发生器渗氮中，低温等离子发生器的产生和衬底偏压是分开控制的，因此离子能量转换和到衬底表面的通量可以分开控制。
由于工作气压相对较低，香港城市大学等离子体实验室耗气量会相应减少（减少）。在自由基氮化过程中，低能量变换直流辉光放电产生可用于氮化的NH自由基。与气体氮化工艺类似，在整个工艺过程中都需要外部电源来加热工件。工业不仅可以精确控制表面拓扑，还可以选择是否形成复合层。您还可以在不改变表面结构属性的情况下控制复合层的厚度和扩散层的深度。冷等离子发生器。如果金属表面有狭缝或孔洞，则可以通过此工艺轻松实现氮化。
传统低温等离子发生器的氮化工艺采用直流或脉冲异常辉光放电。该工艺对于低合金钢和工具钢的渗氮是可以接受的，等离子体活化水土壤盐分但不适用于不锈钢，尤其是具有奥氏体结构的钢。由于高温氮化时CRN析出，金属表面坚硬耐磨，但有易腐蚀的缺点。低温低压放电技术成功解决了这一问题，该工艺产生的改质层中含有称为扩展奥氏体的富氮层。
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