处理速度
处理速度是指等离子清洗设备喷头的移动速度,处理速度范围为1m/min~200m/min。随着处理速度的提高,等离子处理效果会逐渐减弱。
处理功率
处理功率,是指等离子发生器的功率,随着等离子体反应功率的增加,材料表面的刻蚀率随之增加,,这是因为在较大的功率下气体分子被激发生成等离子体后,单个等离子体粒子所携带的能量更高,飞行速度也较大,对材料表面的撞击更剧烈,使得等离子体与材料表面反应的更加彻底,更多的大分子被打断形成的小分子,进一步氧化成气体分子挥发到周围环境中,使材料的刻蚀率得到明显的改善。
处理高度
处理高度是指等离子清洗设备喷嘴距离被处理物体的高度,处理高度有效范围一般为0-10mm。
随着等离子处理过程中喷头与样品距离的增加,处理效果相应...