深圳市金徕技术有限公司
ShenZhen City JinLai Technology Co.,Ltd.
型 号 | JL-RR8 | ||
等离子源系统 | 频 率 | 13.56MHz 射频 | |
功 率 | 0~300W可调 | ||
真空系统 | 真空腔体 | 材质 | 石 英 |
腔体内部尺寸 | Φ250 * Dept.260（直径*深mm) | ||
腔体容积 | 12 L | ||
处理最大尺寸 | 8英寸 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不锈钢管、不锈钢波纹管 | ||
真空计 | 1×105~1×10-1Pa | ||
质量流量计 | ＜±1% FS | ||
气路控制 | 4路处理气体气路，气体流量可调 | ||
极限真空 | 5Pa | ||
流量范围 | 0-500SCCM（可调） | ||
工艺气体 | Ar、CF4、N₂、O₂等等（可选） | ||
控制系统 | 1、PLC 自动控制； | ||
2、7寸触摸屏,图形用户界面； | |||
3、配方程序为 0~99； | |||
4、多级权限操作； | |||
5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息； | |||
6、存储工艺数据及错误信息； | |||
7、报警信息提示及追溯； | |||
8、图形化界面检测处理参数； | |||
9、自动、手动操作可切换； | |||
10、维护提示紧急停止按钮； | |||
11、门感应器和真空互锁； | |||
12、机器运行信号指示； | |||
13、机器运行结束提示； | |||
外观参数 | 外形尺寸(MM) | 750*450*500(宽高深） | |
重 量 | 55KG | ||
设施配置 | 电 力 | 单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。 | |
压缩空气 | 无 | ||
其 它 | 提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单. | ||
质保、售后服 务和技术支持 | 质 保 | 一年免费的维保和备件免费更换 | |
技术支持 | 接到设备故障通知1个小时内提供远程技术支持，对远程无法定位解决的问题，提供现场维修服务 | ||
培 训 | 设备正式试用前，提供完整、免费的技术培训 | ||
1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计，精度高。
4、316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
1、小技巧、操作简单、易维护。
2、引进德国核心等离子技术，质量有保障。
3、进口针阀精密流量控制计，精度高。
4、316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。
5、多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
6、可以根据客户需求定制。
