检查真空泵室:这个测试主要是检查是否有很多室内真空泵腔杂质沉积和附着力,这是因为真空泵打开后,管腔内的杂质会流,如杂质太多,会导致真空泵转子卡住了,旋转叶片各级划伤和损坏、密封油、排气阀断裂等许多事情,油漆附着力划格检测方法影响真空处理设备的备用能力,甚至导致真空泵主要部件损坏。检查排气阀板:这次检查主要是检查排气阀板是否断裂。排气阀在真空泵中起单向阀的作用。如果单向阀坏了,就会失效,导致真空等离子处理系统的降低。

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