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腔室(根据清洗剂选择氧气、氢气、氩气、氮气等各种气体),附着力零 牵引力变小压力保持在Pa左右,通过接地装置在真空腔内的电极之间施加高频电压。气体通过辉光放电分解和离子化,产生等离子体。在真空室内产生的等离子体完全覆盖待清洁物体后,开始清洁操作并继续清洁过程。几十秒到几分钟。下面详细介绍使用等离子清洗机时应注意的事项。 1.在开启等离子清洗机之前,需要做好各种准备工作。

2.接下来,附着力零 牵引力变小将用于等离子清洗的气体引入真空室以稳定室内压力。根据清洗剂的不同,可以使用氧气、氩气、氢气、氮气和四氟化碳等气体。 3.当在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压时,气体分解产生等离子体,辉光放电产生等离子体,在真空室内产生等离子体。涵盖已处理的内容 一般来说,清洁过程持续数十秒到数十分钟,具体取决于被处理的不同材料。四。清洁后,关闭电源,用真空泵排出气体和汽化的污垢,完成清洁。

然后通过Ar, Ar等离子体诱导硫蒸汽放电产生硫等离子体,附着力零级是多少硫等离子体与加载平台上的CaAs样品反应,在样品表面生成稳定的含硫化合物。为了在更大范围内调节硫蒸气分压,我们通过调节真空挡板适当控制真空系统的抽真空速率,以保证腔内足够稳定的硫蒸气浓度参与样品表面反应。氩等离子体经射频等离子体清洗后,PL强度略高于未经处理的GaAs样品。

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CO2添加量对等离子等离子体下CH4转化反应的影响:在O2等离子体甲烷氧化偶联反应中,O2的加入量直接影响CH4的转化率和C2烃的选择性,O2的加入量减少。 CH4的转化率如下。少量、过量添加 O2 会导致 CH4 氧化为 COx (x = 1, 2)。等离子体作用下的CO2氧化CH转化反应还包括加入适量的CO2。随着供气中CO2浓度从15%增加到85%,CH4的转化率逐渐提高,从以下结果可以看出转化率。

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