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下面根据由氧气和四氟化碳气所组成之混合气体,举例说明plasma设备处理之机理:PCB电路板plasma设备的方法介绍(1)plasma设备用途1.plasma设备凹蚀/去孔壁树脂沾污;2.增强表面界面张力(PTFE表面活(化)处理);3.plasma设备选用激光打孔之埋孔内碳的处理;4.plasma设备改变内层表面特征和界面张力,增强层间粘合力;5.plasma设备去除抗蚀剂和阻焊膜残留。

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