它是物质存在的基本形式之一，二氧化锆表面改性是物质存在的第四种状态，是在固、液、气三种状态之外，是宇宙中分布最广的物质形式。 在工业领域，等离子体常用于对材料表面进行改性。冷等离子体在接近室温时是冷的，含有大量高能带电粒子，可以在材料表面诱导自由基，引入各种活性基团，同时改变材料表面的润湿性、极性。 . , 不损坏材料。冷等离子处理设备处理氧化锆表面以增加表面能和润湿性。
采用低温等离子体设备对氧化锆进行表面处理，锆表面改性提高了氧化锆与树脂水泥的结合强度。等离子清洗设备体积小、操作简单、气源用途广、成本低，适合牙科临床应用。用Ar和O2气体产生的低温等离子体处理氧化锆表面后，发现氧化锆表面碳元素明显减少，而氧元素明显增加，进而增加了氧化锆的表面能和润湿性。氧化锆表面经等离子体处理后，润湿性提高。测量了氧化锆表面对水的接触角，接触角越小，其润湿性越好。
低温等离子处理机处理氧化锆表面，二氧化锆表面改性可增加表面能和润湿性。利用低温等离子设备对氧化锆表面处理，提高氧化锆与树脂水门汀的粘接强度。 等离子清洗设备体积小，操作简单，且使用气体来源广泛，成本低廉，适合于牙科临床应用。 使用Ar加O2气体产生的低温等离子处理氧化锆表面后，发现氧化锆表面碳元素明显减少，而氧元素明显增加，继而增加氧化锆的表面能和润湿性。 使用等离子技术处理氧化锆表面后发现润湿性增加。
真空等离子清洗机在汽体上有许多的选取，二氧化锆表面改性但也能够选取各种汽体来匹配原料表面的氧化物和纳米微生物的去除。在这里要强调的是∶ 大气等离子清洗机通入的汽体的目地主要是为了更好地活化，侵润性加强。而真空型通入的汽体的目地是为了更好地加强蚀刻加工作用，清除污染物质，清除有机物，侵润性加强等。汽体的显色选取范围较广，将真空等离子清洗机加工技术应用得更为广泛。
二氧化锆表面改性
发射光在金属表面清洗过程中的作用等离子体同时发光，能量高，穿透力强。在光的作用下，金属表面污物分子的分子键断裂分解，有利于促进粘附在金属表面的污染物分子进一步活化（化学）反应。等离子表面处理是对金属材料进行表面处理，它可以去除材料表面（纳米）米的油渍、氧化物、水锈等物质。由于常压等离子体清洗机具有（效率）率高、操作方便等优点，在这方面得到了广泛的应用。
加工深度约为几十纳米。在锂电池的制造过程中，正负极片的引入，一点不小心的灰尘、油污、指纹甚至硅胶脱模剂都会影响设备的加工效果。因此，要保证在线等离子清洗设备的处理效果，需要做到以下几点：适当清洁这些表面大颗粒污染物。同样，用等离子清洗机处理后，材料表面应被污染两次以降低表面张力。如果与未经处理的表面接触，则在轧制前应保持对面清洁。另外，尽量避免摩擦，以免损坏或粘连表面。
自由基的作用主要是化学反应过程中能量转移的“活化”效应，处于激发态的自由基具有很高的能量，所以当它们与物体的表面分子结合时，很容易形成新的自由基，而且新形成的自由基也是不稳定的。 .它处于高状态。在能态下，很可能发生分解反应，新的自由基与小分子同时产生。这个反应过程继续进行，最终可能分解成简单的分子，例如：如水和二氧化碳。
待清洁表面上的碳氢化合物污染物和等离子体中的氧离子反应产生二氧化碳和一氧化碳，其简单地从腔室中抽出。惰性气体，例如氩气，氦气，氮气可以被使用并且有效地轰击表面并且机械地去除少量的材料。等离子体对表面的影响可以延伸至高达几微米的深度，但更通常远小于0.01 微米，等离子体不会改变材料的整体性质。
锆表面改性
用氧气清洗将非挥发性有机化合物转化为挥发性物质，二氧化锆表面改性产生二氧化碳、一氧化碳和水。其优点是清洗速度快，对有机污染物的清洗效果好。主要缺点是氧化物可以在材料表面重新形成。使用引线键合时不希望形成氧化物。这些缺点可以通过选择适当的工艺参数来避免。 2.物理反应的清洁：与等离子体中离子的纯物理碰撞会分解附着在材料表面的原子。这也称为溅射腐蚀 (SPE)。）。
