主要过程包括:首先将待清洗工件送入真空室固定,油墨为什么附着力不良启动真空泵等装置抽真空排气至10Pa左右的真空度;然后将用于等离子体清洗的气体引入真空室(根据清洗材料的不同,选择的气体也不同,如氧气、氢气、氩气、氮气等),压力保持在Pa左右;在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体分解并通过辉光放电使其电离,产生等离子体;真空室内产生的等离子体覆盖被清洗工件后,清洗作业开始,清洗过程持续数十秒至数分钟。

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这样当给电极两端施加足够高的交流电压,pa对油墨为什么附着力差电极之间气体即使在大气压下也能够被高压击穿,形成所谓的DBD放电。这种等离子清洗仪放电与辉光放电相似,表现得很均匀、散漫和稳定,其实际上是由许多细小的快脉冲放电通道构成的。通常放电气体的压强可达到1 atm (1 atm = 1.013X 10^5 Pa),因此DBD放电属于高气压下的非热平衡放电,又被称为无声放电。

简单如开头所说,油墨为什么附着力不良等离子清洗需要在真空状态下进行(一般需要保持在Pa周围),因此需要真空泵抽真空。

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电子和原子,在等离子体状态下摆脱原子束缚的中性原子、分子和离子无序运动,能量很高,但整体是中性的。高真空室内的气体分子被电能激发,加速后的电子相互碰撞,使原子和分子的外层电子被激发出轨道外,生成反应性高的离子或自由基。由此产生的离子和自由基继续相互碰撞,并被电场加速。

其中,物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面,使污染物脱离表面最终被真空泵吸走;化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质,再由真空泵吸走挥发性的物质,从而达到清洗目的。 我们的工作气体,经常用到氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、甲烷(CF4)等。

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