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自由基如原子团与物体表面的反应自由基在等离子体中起着重要作用，安徽低温等离子处理设备哪家好因为这些自由基是电中性的，寿命长，并且在等离子体中比离子更丰富。自由基的作用主要表现在化学反应过程中能量传递的“活化”。被激发的自由基具有很高的能量，因此它们与表面分子结合时往往会形成新的自由基。自由基也处于不稳定的高能状态，发生分解反应，变成小分子，同时产生新的自由基。这个反应过程继续进行，最终可能分解成水、二氧化碳等。
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在等离子体表面处理仪产生等离子体和材质接触面的撞击会将其能量转移到材质分子和原子接触面，从而产生一系列的物理和化学反应。它还可以通过向材质接触面注入颗粒或气体来改变材质的接触面性质，从而引起碰撞、散射、激发、重排、异构化、结晶。1）等离子体表面处理仪与材质接触面的蚀刻很多的的离子、活跃的分子和自由基在物理作用下在等离子体接触面起作用，去除原始污染物和杂质。
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