低温等离子设备可用于纳米级表面清洁和小型样品的活化等离子体是一类物质状态，也叫第四态。在气体中加入足够的能量，这样它就会离化成等离子态。等离子中的“活性”成分包括：离子、电子、活基、激发态(亚稳态)和光量子等。等离子处理机是应用这种活性成分的特点来处理试品的表面，以满足清洁等目的。
等离子表面处理设备，适用等离子清洗、活化、蚀刻等多种应用，设备能在严酷环境下稳定运行，满足高均匀性的应用效果。低温等离子设备是一类小型、便宜的台式等离子清洗设备，可用于纳米级表面清洁和小型样品的活化。
等离子处理机是应用能量转换技术，在一定的真空负压下，把气体经过电能转化成活性很高的气体等离子体，气体等离子体轻缓地洗涤固体试品表面，引起分子结构的变化，从而实现对试品表面有机污染源的超清洗，在很短的时间内，有机污染源被机械泵抽干，其清洗能力可达分子级。材料的表面特征在一定条件下也会发生变化。低温等离子设备可用于纳米级表面清洁和小型样品的活化00224362