等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等离子机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，电泳附着力有什么目的从而实现清洁、涂覆等目的。
产生的自由基、正负离子在电场的持续加速和高速运动碰撞下与材料表层发生碰撞，电泳附着力有什么目的破坏分子间原有的分子间键，使PI表层断裂，物质形成细小不规则，同时产生的气体变成官能团，继续引起物质表层的物理和化学变化。总的来说，整个过程就是气体不断电离和不断复合的过程，保证了整个反应的不断进行，达到了粗化PI表层和改性PI表层的目的。
通常，电泳附着力划线测量一种物质以三种状态存在：固态、液态和气态，但在某些条件下，还有第四种状态，例如：地球大气中的电离层物质。以下物质以等离子体状态存在：快速运动的电子；中性原子、分子、处于活化状态的原子团；电离的原子、分子；中性状态。在真空室中，高频电源在恒压下产生高能混沌等离子体，等离子体与清洗后的产品表面碰撞。用于清洁目的。在线等离子清洗机适用范围：在线等离子清洗机通常用于以下应用： 1. 等离子表面的活化/清洗。
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腐蚀性气体等离子体具有优良的各向异性，可以满足刻蚀需要。等离子处理之所以称为辉光放电处理，是因为它会发出辉光。 【真空等离子装置】 等离子处理的机理主要依靠等离子中活性粒子的“活化”，达到去除物体表面污垢的目的。从反应机理来看，等离子清洗通常涉及以下几个过程。
在等离子体中，不同粒子的温度实际上是不同的。等离子体中存在的离子的温度以温度 Ti 表示。电子的温度用Te表示，原子、分子、原子团等中性粒子的温度用Tn表示。如果 Te 远高于 Ti 或 Tn，即为低压气体。气体的压力只有几百帕斯卡。当使用直流电压或高频电压作为电场时，电子本身的质量非常小，以至于它们倾向于在电池中加速。能够得到几个电子伏特的平均值。
1.plasma设备的物理反应机理是将表面上的污染物轰击到表面，最后由真空泵吸走，以物理反应为主的等离子体清洗，其优点是不容易形成化学变化，清洗表面不容易留下氧化物，因此清洗后的表面会有很大的残留氧化物。2.plasma设备的化学变化机制是各种活性颗粒和污染物反应形成挥发性物质，然后真空泵吸收挥发性物质。
当电子输运到表面清洗区域时，与清洗表面吸附的污染物分子发生碰撞，会促使污染物分子发生分解而产生活性自由基，这会有利于引发污染物分子的进一步活化反应;而且，质量很小的电子比离子运动要快得多，因此电子要比离子更早到达物体表面，并使表面带有负电荷，从而有利于引发进一步活化反应。 一般情况下，等离子体中自由基的存在数量比离子多，呈现电中性，寿命比较长，且具有大的能量比较高。
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