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8.半导体工业a.晶圆及晶圆制造:光致抗蚀剂去除;b.微机电系统(MEMS):SU-8胶水的去除;c.芯片封装:铅垫清洗,ITO膜印银浆无附着力倒装底充,提高封胶粘接效果;D.失效分析:拆装;e.电连接器、航空插座等。9.等离子体清洗机在太阳电池上的应用太阳能电池的蚀刻,太阳能电池封装的预处理。10.平板显示器a.清洁活化ITO面板;B.去除光刻胶;c.清理国家场地(COG)。。

等离子清洁器相变存储器的 GST 蚀刻工艺:GST 是当今广泛使用的相变材料,ITO膜印银浆无附着力其等离子清洁器蚀刻工艺是相变存储器所独有的。 1、等离子清洗机GST蚀刻气体屏蔽GST是相变存储器的核心材料,其体积直接影响器件的电性能,因此GST薄膜的完整性(INTEGRITY)非常重要。

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