图一 物理等离子清洗化学等离子清洗过程:清洗物的表面主要是以化学反应的形式表现作为主要的清洗目的，增强油漆附着力彮剂主要通过氧气，即在真空反应室中通过射频或微波能量使氧气电离成等离子体，该等离子体中包含离子、原子、分子及电子与有机物发生化学反应，形成CO2和H2O，然后经真空泵将其抽走，达到清洗目的，如图2所示。
AMAT的台面甚至日立的8190XT通过同步脉冲实现了低电子衰落。同步脉冲是指源功率和底电极偏置功率的同步开关。关闭时，增强油漆附着力的界面剂等离子体清洁器等离子体中的电子大大减少，等离子体由电子-离子型转变为离子-离子型。同时，由于底部电极表面鞘层的消失，使得更好地控制等离子体中的正负分离成为可能。RLSA通过空间扩散实现离子-离子等离子体，MESA/8190XT通过时间（等离子体切换）实现离子-离子等离子体。
如果说水是生命中不可或缺的物质，增强油漆附着力彮剂那么太阳同样是我们生命中不可或缺的物质。当我们仰望夜空中的星星时，你会看到数十亿或数万亿英里外的恒星发出的可见辐射。同样地，当你在地球上享受太阳的光芒照在脸上时，你也会被同样的辐射加热，这种辐射是从我们太阳系的恒星中释放出来的能量。大多数人不知道的是，这种能量是太阳核心发生核聚变的结果。核聚变导致大量的氢被用作能源。
在这个装置中，增强油漆附着力的界面剂两个电极被放置在一个封闭的容器内以形成一个电场，一个真空泵提供真空。随着气体越来越稀薄，分子结构与分子结构或离子自由运动的距离越来越大。它们在电场的作用下与等离子体碰撞形成等离子体。它的活性非常高，能量转换足以破坏几乎所有的离子键，并且在暴露的表面上会发生化学反应。在真空下，等离子体对工件表面进行化学或物理处理，以去除分子结构水平（通常为 3 至 30 纳米厚）。
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