等离子体的清洁效果取决于等离子体的密度和电子温度。例如,内聚力和附着力的相互作用密度越高,清洗速度越快,电子温度越高,清洗效果越高。因此,放电气体压力的选择对于低压等离子清洗工艺非常重要。 (2)气体种类:待处理基材及其表面污染物种类繁多,不同气体排放产生的等离子清洗速度和清洗效果完全不同。因此,应有针对性地选择等离子体的工作气体。例如,使用氧等离子体去除物体表面的油脂和污垢,或使用氢氩混合气体等离子体去除氧化层。
等离子清洗机电源的主要电流是13.56KHZ的射频电源和40KHZ的中频电源。小型电源的功率为数百瓦。二是放电气体的压力:对于低压等离子体,内聚力和附着力的相互作用随着放电气体压力的增加,等离子体密度越高,电子温度越低。等离子体的清洁效果取决于其密度和等离子体温度。例如,密度越高,清洗速度越快,等离子温度越高,清洗效果越好。因此,放电气体压力的选择对于低压等离子清洗工艺非常重要。
射频放电、微波放电、直流辉光放电、电晕放电、接枝阻挡放电。其中,内聚力和附着力的前三个通常在第7页放电,后两个在常压下可以产生冷等离子体。在等离子等离子清洁器的射频放电中,在低压电容器的两极之间施加低频(50-500Hz)或高频交流电压以产生辉光等离子体。通过双极溅射,粒子在电场力的作用下发生空间共振转移。等离子 等离子清洗机微波放电是将微波能量转化为气体分子的内能并激发、离解、电离产生等离子体的一种气体放电方式。
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