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等离子体可以由直流或高频交流电场产生。使用交流时,560附着力促进剂应选用电信规定的科研和工业使用频段(MF)40kHz、高频(HF) 13.56mhz、微波频率(MW)2.45CHz,否则会干扰无线电源通信。一般来说,产生等离子体并定位材料。合理的效率与以下几个方面有关。一般在等离子体清洗中,活(化学)气体可分为两种。一类是惰性气体等离子体(如Ar、N2等);另一类是反应性气体等离子体(如02、H2、H2)。氟气体等等。

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