其机理主要依赖于等离子体中活性粒子的“活化”来达到被去除的物质外表面污渍的意图一般包括无机气体被激发成等离子体，固体表面改性的意义气相物质被吸附在固体表面，被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子，产物分子分析形成气相，反应残渣从表面产生等过程。
例如，固体表面改性的意义电子产品、PC胶框、外壳等元器件表面的预粘，PCB表面的脱胶去污清洗，镜片的预粘，打码用电线电缆的前处理，等离子清洗技术。关键是：在其应用中，它是一种电中性、高能量、完全或部分电离的气体材料，主要取决于外部条件，如高温、高波、高能。等离子体的能量约为几十电子伏特，等离子体中所含的离子、电子、自由基、紫外线等活性粒子很容易与分离出的固体表面上的污染物分子发生反应，达到洁净的目的。 ..目标。
就反应机理而言，固体表面改性的意义等离子体清洗通常包括以下过程：a.无机气体被激发成等离子体状态；b.气相物质吸附在固体表面；C.吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子；D.分析产物分子形成气相；E.反应残留物从表面除去。气体被激发成等离子体的途径很多，如激光、微波、电晕放电、热电离、电弧放电等。在电子清洗中，低压气体辉光等离子体是主要的方式。
4）等离子体表面治疗仪的原理和工艺A、气体被激发成等离子体状态；B、作用于固体接触面吸附气体物质；C、吸附质与固体接触面分子反应生成产物分子；D，固体表面改性的意义之后产物的分子分解成气相，从而达到反应残留物与接触面分离的效果。以上是等离子表面处理仪器含有腐蚀、激发键能，形成新的官能团。。
