Ar+e－→Ar++2e－，喷漆和喷塑附着力0级Ar++沾污→挥发性沾污氩气等离子清洗原理在非反应气体中，氩气和氦气是常用的清洗气体，其具有优良的物理性质，如击穿电压低并且等离子与其他气体相比相当稳定，氩原子的电离能为15.75eV，氩等离子中含有大量的亚稳态的氩原子，在物理反应清洗中很具优势。在清洗过程中还可以充入两种或以上的混合气体以得到更好的清洗效果。
AMAT的台面甚至日立的8190XT通过同步脉冲实现了低电子衰落。同步脉冲是指源功率和底电极偏置功率的同步开关。关闭时，喷漆和喷粉哪个附着力更好等离子体清洁器等离子体中的电子大大减少，等离子体由电子-离子型转变为离子-离子型。同时，由于底部电极表面鞘层的消失，使得更好地控制等离子体中的正负分离成为可能。RLSA通过空间扩散实现离子-离子等离子体，MESA/8190XT通过时间（等离子体切换）实现离子-离子等离子体。
离子化学清洗速度快，喷漆和喷塑附着力0级选择性好，对有机污染物有良好的清洗效果。等离子体表面活化机表面反应以物理作用为主，常用氩气，不产生氧化副产物，腐蚀各向异性。在等离子表面活化机的表面改性过程中，化学反应与物理作用相结合，使其具有更好的选择性、一致性和方向性。 由于工业领域精密化、微小化的发展方向，等离子表面活化机技术以其精细清洁、无损改性的优势在半导体行业、芯片产业、航空航天等高新技术行业也会有越来越重要的应用价值。
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