蚀刻速率相当高，刻蚀机龙头股但在图案复杂密集的区域，产生的副产物不易挥发，而且等离子蚀刻垫圈本身的等离子蚀刻气体聚合物非常重且容易。由于蚀刻停止现象发生在蚀刻图案的底部，图案的外观变差，因此需要进一步改进CH4和H2的气体组合，使其成为工业上适用的磷化铟蚀刻方法。有文献指出，以氯气为主要刻蚀气体的磷化铟低温刻蚀存在刻蚀速度很慢、在低温条件下副产物难以去除的问题。
使用氯气蚀刻InP对温度非常敏感，国内刻蚀机龙头股,诺安持仓1000万股温度越高，蚀刻速度越快。但如果温度低，副产物多，不易挥发，所以如果蚀刻总量过大，由于副产物的浓缩作用，蚀刻就会停止（产品难InClx)。以CH4和H2为主要成分的低温刻蚀面临着刻蚀速度慢导致刻蚀停止的现象。因此，如何在低温下实现对InP材料的刻蚀是一个研究热点。一种更常见的方法是将传统的磷化铟蚀刻气体与另一种气体混合。新西兰卡洛塔报告了这方面的早期工作。
从 2012 年的报告中获得了对图形表单控制的更详细研究。从模拟结果看，国内刻蚀机龙头股,诺安持仓1000万股深槽或深孔的形态与等离子体吸附率和等离子刻蚀垫圈的吸附规律有关，是否存在二次吸附或多次吸附直接影响顶面形状。 .等离子体吸附的差异对深孔和深槽开口附近的形状影响很大，表面模拟与实验的实际结果吻合较好，表明模拟结果的可靠性非常高。我是。根本原因是深孔中不同的等离子体吸附位置不同，刻蚀分为两个不同的阶段。
与普通液压机相比，国内刻蚀机龙头股,诺安持仓1000万股伺服驱动液压机具有节能、低噪音、高效率、灵活性大、效率高等优点，可以替代现有的大部分普通液压机。...日本、欧美等发达国家一直在对现有的伺服液压机产品进行研发，但现在在日本逐渐普及。但国内企业在研究此类产品的很少，主要关键技术尚未攻破，成熟产品尚未形成。
