影响等离子清洗效果的因素；一、原则和实施方法等离子体清洗是依靠特定物质等离子体中的高能粒子流冲击待清洗物体表面，氧等离子体刻蚀机器产生物理冲击（如氩等离子体）或化学反应（氧等离子体）来达到去除物体表面污渍的功能。目前，大多数等离子体清洗系统都是通过将反应室压力降低到Pa以下，无需以一定速度引入合适的气体，在常压下启动电源来获得等离子体。
不同气体的等离子体具有不同的性质，氧等离子体刻蚀机器如氧等离子体氧化性高，可氧化光刻胶反应产生的气体，从而达到清洗效果；刻蚀气体等离子体具有良好的各向异性，因此可以满足刻蚀的需要。采用等离子体表面处理器技术的真空等离子体清洗设备会产生辉光，故称辉光放电处理。等离子体表面处理器清洗样品表面并使其活化。通过加入特殊气体和处理工艺，使样品达到亲水和疏水的效果。
其中氧等离子体表面处理干法处理通常利用各种电离气体等离子体对ITO表面进行清洗，氧等离子体刻蚀机器以去除其表面污染，改善其表面形貌；在湿处理中，通过不同的有机溶剂将新基团结合在ITO表面，从而达到表面改性的目的。采用氧等离子体处理方法对ITO阳极进行表面改性。
二、化学浸泡腐蚀热循环试验就测试效果而言，杭州氧等离子体清洗机萘钠溶液蚀刻的PTFE聚四氟乙烯试样与钢板的粘接性仍较好，但PTFE基体之间会发生分层；等离子体清洗机处理的PTFE聚四氟乙烯试样不仅与钢板结合牢固，而且无分层现象。就测试性能而言，等离子清洗机处理后的粘接效果更好。三、UV紫外线照射老化试验验证通过以上三项试验，可以直观地了解PTFE处理后PTFE的粘接可靠性性能。
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