大体来说，硅基上氧化铝薄膜附着力锂电池的生产包括极片制造、电芯制作以及电池组装三部分。在这三个大的工序中又有数道关键工艺，不同的生产工艺生产的电池性能差异很大。在3个制程中增加等离子清洗可以极大提高电池制造工艺水平。极片涂覆前等离子清洗锂电池的正负极片是在金属薄带上涂覆锂电池正负极材料而成，金属薄带在涂覆电极材料时，需要对金属薄带进行清洗，金属薄带一般为铝薄或铜薄，原来的湿式乙醇清洗，容易对锂电池其他部件造成损伤。
极片涂覆前PLASMA等离子清洗机清洗： 锂电池的正负极片是在金属薄带上涂覆锂电池正负极材料而成，非晶氧化铝薄膜附着力金属薄带在涂覆电极材料时，需要对金属薄带进行清洗，金属薄带一般为铝薄或铜薄，原来的湿式乙醇清洗，容易对锂电池其他部件造成损伤。等离子干式清洗机有效解决以上问题。 电池焊接前等离子清洗： 等离子清洗是一种干式清洗，主要是依靠等离子中活性离子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。
金属条一般为铝薄或铜薄。原来的湿式乙醇清洗容易对锂电池的其他部件造成损伤。干式等离子清洗机可以有效地解决上述问题。。常用的等离子体激励频率有三种：激励频率为40kHz的超声等离子体、激励频率为13.56MHz的射频等离子体和激励频率为2.45GHz的微波等离子体。不同等离子体的自偏压不同，硅基上氧化铝薄膜附着力超声等离子体的自偏压约为0V，射频等离子体的自偏压约为250V，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏。
PDMS 微流控系统等离子处理的 PDMS 聚二甲基硅氧烷（简称 PDMS）是一种非常常见且广泛使...
