1、二氧化硅的亲水性机理（瓦克亲水性气相二氧化硅） 氧气被用来将不挥发的有机物清洁成挥发性的形式，瓦克亲水性气相二氧化硅产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的优点是清洗速度快，选择性好，对有机污染物的清洗更有效，主要缺点是生成的氧化物可能会在材料表面再次形成。氧化物在铅键合过程中是最不理想的，通过适当选择工艺参数可以避免这些缺陷。。等离子体和电晕处理...
2、二氧化硅膜层亲水性（亲水性气相二氧化硅 瓦克） 等离子体处理方法具有无污染、工艺简单、速度快、效率高等特点。经过多次实验，二氧化硅膜层亲水性得出了用氧氩处理的具体方案，并成功应用于后期的键合工艺。氧和氩都是非聚合气体，等离子体与硅片表面的二氧化硅层相互作用后，这些活性原子和高能电子破坏了原有的硅氧键结构，使其成为非桥接键。表面活化导致电子结合能随...
