自由电子与气体分子之间缺乏热平衡，纱管纸电晕处理机的作用气体温度只有50-250℃。在电场作用下，电子、离子、中性和受激分子之间会发生一系列相互作用--弹性或非弹性碰撞。在电子与气体分子的弹性碰撞中，只有少量电子能量传递给气体分子，使气体温度升高。在非弹性碰撞中，电子损失的能量要大得多，激发分子的振动、旋转或电子跃迁等内部运动，从而产生离子、自由基或亚稳态活性体。
当电子被输送到表层清洁区时，电晕处理机什么作用与吸附在清洁表层上的污染物分子发生碰撞，会促进污染物分子分解，产生活性自由基，有利于进一步活化污染物分子；而且质量小的电子比离子运动快得多，因此电子比离子更早到达物体表层，使表层带负电荷，有利于进一步激活反应。二、等离子体清洁离子在金属表面清洁过程中的作用一方面，阳离子被物体表面的负电荷加速，获得巨大的动能。
由此产生的离子和氧自由基继续相互碰撞，纱管纸电晕处理机的作用在电场的加速下，与材料的那个表层碰撞，原来几微米深的分子结构之间的融合方式被破坏，孔洞中相应深度的表层物质被去除，产生微小的磕碰。同时，产生的混合气体组分成为反应性官能团（或官能团），诱发物质表层发生物理化学变化，从而去除钻孔污染，提高镀铜结合力。等离子体清洗机中等离子体的化学反应中，起化学作用的颗粒主要是正离子和氧自由基。
在其他情况下，纱管纸电晕处理机的作用氧自由基与物体表面的分子结构结合，产生巨大的粘附力，这些能量成为新的表面反应驱动，使物体表面发生化学变化将其移除。一般阳离子具有正电伪作用，阳离子有向负平面加速冲刷的趋势。这种现象使物体表面获得相当大的动能，足以冲击去除的表面：附着的颗粒物，我们称之为溅射现象，可以通过离子的撞击，极大地促进逃逸生物表面的化学变化。紫外具有很强的光能，能使附着在物体表面的物质分子键...
