如果精心计划制造过程，衡阳氧等离子体清洗机将有足够的时间完成加工材料的制造过程。根据所加工的材料和所使用的配方，我们有多种独特的配方，对材料的成功加工非常有帮助。等离子体活化用气体氧处理通过从表面逐个去除原子，具有显著的刻蚀效果。氧等离子体处理的材料留下一个干净的，可粘合的表面，也可以接受油墨或油漆，并形成永久的粘结。
当VGS=2V和VDS=10V时，氧等离子体清洗机原理样品的VGS=7mA/mm,氧等离子体处理后样品的VGS=7mA/mm为0.0747A/mm=74。7mA/mm,VGS=2V,VDS=10V。结果表明，经氧等离子体处理的器件表面没有损伤，但器件的饱和电流增大。等离子体处理后的样品比氧等离子体处理前的样品要高。这说明氧等离子体处理后器件的大跨导和性能得到了提高。氧等离子体处理后，HEMT器件阈值电压负移。
典型的等离子体化学清洗工艺是氧等离子体清洗。等离子体产生的氧自由基非常活跃，氧等离子体清洗机原理容易与碳氢化合物反应生成二氧化碳、一氧化碳、水等挥发性物质，从而去除表面污染物。基于物理反应的等离子体清洗，也称为溅射刻蚀(SPE)或离子铣削(IM)，其优点是不发生化学反应，清洗表面不留氧化物，可保持被清洗物体的化学纯度。另一种等离子体清洗是表面反应物理反应和化学反应在机理中起着重要作用，即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀。
等离子体处理器的工作原理；等离子体处理器的原理是通过低温等离子体表面处理，衡阳氧等离子体清洗机使材料表面发生各种物理化学变化，如刻蚀、粗糙，形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使亲水性、附着力、可染性、生物相容性和电学性能分别得到提高。例如，等离子体处理硅橡胶表明，N2、Ar、O2、CH4-O2和Ar-CH4-O2等离子体可以提高硅橡胶的亲水性，其中CH4-O2和Ar-CH4-O2效果较好，且不随时间降解。
