SIH4 + SIH3 + N2 用于氮化硅沉积。温度为300℃，硅烷化处理EP管沉积速率约为180埃/分钟。非晶碳化硅薄膜是通过添加硅烷和含碳共聚物得到SIXC1+X:H得到的。其中 X 是 SI / SI + C 的比率。硬度超过2500kg/mm2。等离子将聚合物薄膜沉积在多孔基材上，以形成选择性渗透膜和反渗透膜。可用于分离混合气体中的气体，分离离子和水。
西南桦是西南地区经济价值较高的速生木种，硅烷化处理是什么意思结构精细，花纹美观，加工性能优良，是理想的地板和家具木材。以挥发性三甲基氯硅烷（TMCS）为单体，在等离子体环境下将甲硅烷基引入木材表面，使木材表面硅烷化，使木材表面具有疏水性，扩大了木材的使用范围，提高了耐久性。等离子表面处理被认为是一种经济环保的处理方法，因为它使用少量的化学药品，反应在低温下进行。
即使在不同温湿度条件下连续老化28天后，铝合金硅烷化处理木材表面仍表现出稳定的疏水性，老化后接触角降低仅为1.9°。 ~ 3.7°在等离子体环境下，TMCS与西南桦木表面发生反应，将甲硅烷基引入木材表面，硅含量达到22.82%。处理后的木材表面形成均匀的颗粒结构，大大提高了木材表面的疏水性和疏水稳定性。
广泛应用于电子工业、化工、光学等领域。一种等离子体沉积的硅化合物，铝合金硅烷化处理使用 SIH4 + N2O（或 SI (OC2H4) + O2）产生 SIOXHY。气动压力 1-5 Torr (1 Torr & ASYMP; 133 Pa)，输出为 13.5MHZ。 SIH4+SIH3+N2用于氮化硅沉积，温度300℃，沉积速率180埃/分钟。非晶碳化硅薄膜是通过添加硅烷和含碳共聚物得到SIXC1+X:H得到的。
