LCD玻璃采用低温大气等离子清洗工艺，附着力相当好去除杂物颗粒，不仅提高了材料的表面能，而且使产品的输出速度提高了一个数量级。等离子表面处理工艺开始成为微电子制造中不可或缺的一部分。相比等离子表面处理设备，业内更常见的名称是“等离子清洗机”，也开始受到人们的欢迎。与传统的机械清洗（机械清洗、水洗、溶剂清洗等）不同，传统的清洗方式在清洗完成后会在表面留下纳米到几十纳米的残留物。
等离子体的清洁效果取决于其密度和电子温度。例如，不同颜色的油墨附着力相同吗密度越高，清洗速度越快，电子温度越高，清洗效果越高。因此，放电气体压力的选择对于低压等离子清洗工艺非常重要。 (2)气体种类：待处理基材及其表面污染物种类繁多，各种气体排放产生的等离子清洗速度和清洗效果完全不同。因此，应有针对性地选择等离子体的工作气体。例如，使用氧等离子体去除物体表面的油脂和污垢，或使用氢氩混合气体等离子体去除氧化层。
等离子体清洗技术也是干法工艺的进步成果之一。与湿法清洗不同，不同颜色的油墨附着力相同吗等离子体清洗的机理取决于&ldquo；等离子体状态&rdquo；物质的&ldquo；激活&rdquo；DA去除物体表面的污渍。取决于目前的清洗方法，等离子清洗可能是所有清洗方法中最彻底的清洗方法。在等离子体清洗的应用中，一般来说，清洗/蚀刻就是去除干扰材料。
其中以化学反应为主的等离子清洗机具有清洗速度非常快，附着力相当好性能好，选择性高，在对去除有机物，氧化物，以...
