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高压等离子体真空器

问题 3:人们为什么要研究激光-等离子体相互作用?目前,高压等离子体刻蚀研究激光-等离子体相互作用的主要动力是激光和等离子体的惯性约束聚变。我们的化石能源有一天会耗尽吗?能源短缺,新能源技术研究迫在眉睫。惯性约束聚变的原理是利用激光将等离子体限制在高温、高压、高密度的狭小空间内,等离子体中的原子核相互碰撞聚集,引起聚变发射。大量的能量。聚变没有聚变,是一种比较清洁的能源。太阳可以发出光和热,因为聚变仍在继续。

高压等离子体刻蚀

如今,高压等离子氢化四氯化硅制备多晶硅这种方法开始从人们的视野中消失,并逐渐退出历史舞台。目前比较流行的是电晕机加工方法。电晕机也称为火焰机和火花机,其原理类似于燃烧。电晕处理方法通常使用高频、高压电源在放电工具架和刀片之间的间隙中产生放电,产生低温等离子体区域并改性塑料薄膜材料的表面。在这个过程中,氧气也被电离产生臭氧。它氧化塑料薄膜的表面并将其从非极性转变为极性。此外,电子的冲击使薄膜表面变得粗糙,增加了表面的张力。

其原理是利用高频高压电晕放电(5000-15000V/m2高频交流电压)对被处理塑料表面产生低温等离子体。塑料表面与自由基发生反应,高压等离子体刻蚀聚合物发生交联。更粗糙的表面和对质子溶剂更好的润湿性——这这些离子通过电击渗透到印刷材料的表面,渗透并破坏其分子结构,并使其处理过的表面分子发生氧化和极化,离子冲击侵蚀表面和基材的表面,增加表面附着力。等离子处理器用于在线加工,可用于各种生产线上的曲面加工。

等离子清洗机的处理可以提高材料表面的润湿性,高压等离子氢化四氯化硅制备多晶硅进行各种材料的涂镀、电镀等操作,提高粘合强度和粘合强度,去除有机污染物,油类和...

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