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但在等离子刻蚀机的清洗过程中,西安等离子刻蚀联盟工艺气体、气体流量、产量、处理时间等因素都会影响清洗过程,所以如果这些参数选择得当,将有效提高处理效果。金属、陶瓷和玻璃等表面通常具有有机物质和氧化层。在键合、连接、焊接、钎焊和 CVD 之前,需要等离子蚀刻以获得完全清洁的无氧化物层。。

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