其传统方法是高温裂解脱氢,附着力拉开法仪器为强吸热过程,不仅要求温度高(一般高于850℃),而且还需在负压(加大量过热水蒸气稀释)条件下进行,能耗极大,操作复杂,而且产物分离十分困难。若采用plasma,反应温度可比热解脱氢法有所下降,但仍有其限制性,不具有充分的竞争优势。

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(1)化学反应(化学反应)化学反应中常用的气体有氢气(H2)、氧气(O2)、甲烷(CF4)等,这些气体在等离子体中反应成高活性自由基,它们的方程式是:这些自由基会进一步与材料表面发生反应。其反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面反应。压力较高时,有利于自由基的产生。因此,如果化学反应是主要反应,就需要控制较高的压力来反应。

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