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等离子体清洗机，磷化膜的附着力检测具体应用等离子体的特殊性能；等离子清洗/蚀刻机的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定程度的真空，随着气体越来越稀薄，分子之间的距离和分子或离子的自由运动距离越来越长。在电场作用下，它们碰撞形成等离子体。这些离子具有很高的活性，其能量足以破坏几乎所有的化学键，并在任何暴露的表面上引起化学反应。
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通过详细观察我们可以发现，磷化膜的附着力检测在等离子清洗机工作时所形成的等离子体与设备腔壁之间或者是与处理的固体工件之间相邻接触处，会产生一层电位的薄层，薄层内明显偏离电中性，薄层把等离子体包围起来，称为等离子体鞘层或等离子体鞘。对等离子清洗机有过了解的朋友们都知道，等离子清洗机所产生的等离子体的电子温度和离子温度都较低，属低温等离子体。而离子被鞘层电位加速，具有单一能量，电子密度的变化符合玻尔兹曼分布规律。
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自由基的作用主要表现在化学响应过程中能量转移的“激活”作用，处于激发状态的自由基具有较高的能量，因此，当它容易与物体外部的分子结合时，就会形成新的自由基，新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，很可能会出现分化反响，反应过程可能会持续，最终分裂成水、二氧化碳等简单分子。在其他情况下，自由基与物体表面的分子结合，释放出大量的结合能，进而触发新的分子回击的驱动力，进而使物体表面的物质发生化学回击而被去除。
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