在 GST 蚀刻完成并去除光刻胶后,湖南直销等离子清洗机腔体优质服务添加一小步含氟气体作为蚀刻剂(在蚀刻配方(CF4、SF6、NF3等)中,使用含氟气体可以激活GST蚀刻副产物的特性,大大提高湿法清洗的效果。。等离子清洗机的真空室是保持真空泵内部状态的容器,真正的内室质量是等离子清洗机质量特性的条件之一。无论是涂层产品还是表面产品,都必须在型腔内进行一系列操作。型腔设计必须考虑体积、使用的原材料和使用的形状,具体取决于不同的设备。

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为了保证放电的稳定性,湖南直销等离子清洗机腔体厂家现货两个电极之间的距离被限制在几毫米之内,并且需要一个正弦或脉冲的高压电源来实现大气放电。取决于放电气氛、激发电压和频率,在两个电极之间会产生丝状或发光的等离子体。单丝放电由电介质表面的微放电或放电条组成。辉光等离子体的产生需要氮气和氦气等惰性气体的参与,因为它们可以产生具有高活性和彭宁效应的亚稳态粒子。

当等离子体与待处理表面接触时,湖南直销等离子清洗机腔体厂家现货会发生化学和物理变化,清洁表面并去除油脂和辅助添加剂等碳氢化合物污染物。表面的分子链结构随材料的组成而变化。自由基如氧自由基和羟基自由基的建立是为了促进各种涂层材料的附着力,并针对附着力和涂层应用进行了优化。在同样的效果下,等离子表面处理机可以得到高强度、非常薄的涂层表面,而无需其他强力成分,如机械和化学处理来增强附着力。

等离子体与晶片表面的二氧化硅层表面相互作用后,湖南直销等离子清洗机腔体厂家现货活性原子和高能电子破坏了原有的硅氧键结构,使其成为非桥键。(C) 然后,为了将电子与活性原子的结合能向更高能量方向转移,表面有许多悬空键,而这些悬空键以键合OH基的形式存在。结构稳定。在有机或无机碱中浸泡并在特定温度下退火后,表面的Si-OH键脱水并聚合形成硅-氧键。这提高了晶片表面的亲水性并进一步促进了它。晶圆键合。

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