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等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,湿滑路面附着力急剧减从而实现清洁等目的。  等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的”活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。

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当以这种方式产生的电子被电场加速时,它们获得高能量并与周围的分子或原子碰撞。结果,分子和原子中的电子被激发,它们本身变成激发态或离子态。此时,物质存在的状态是等离子体状态。在辉光放电的情况下,在高频电场下处于低压状态的氧气、氮气、甲烷和水蒸气等气体分子被加速分解为原子和分子,产生电子和解离。这些点是带正电和带负电的原子和分子。当以这种方式产生的电子被电场加速时,它们获得高能量并与周围的分子或原子碰撞。

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