表3-3等离子体作用下不同催化剂的催化活性201催化剂转化率/%选择性/%收率/%比率/molC2H6CO2C2H4C2H2C2H4和C2H2C2H4/C2H2H2/CO无催化剂33.822.712.425.412.70.482.3410La2O3/Y-Al2Oy37.518.520.832.019.80.652.7410CeO2/Y-Al2O342.420.620.431.321.80.652.640.1Pd/Y-Al2O330.024.646.76.315.97.401.46注:反应条件为催化剂用量0.7ml,锌合金喷粉附着力不好放电功率20W (峰值电压28kV:频率44Hz),流速25 ml/min,进料为C2H6(50vol.%) 和CO2 (50vol.%)。

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在电子与原子的非弹性碰撞中,锌合金喷粉附着力电子动能转化为原子内能的效率高,当能量较大时,可以完成能量的完全转换;但在离子与原子的非弹性碰撞中,电子的动能较低,高的时候只有能量的一半。因此,只要等离子体清洁器中电子的能量大于原子的激发能和电离能,原子就可能被激发或电离,而离子必须具有原子的两倍激发能或电离能,才能被激发或电离。实际上,当等离子体清洁器中离子的能量是电离能的几倍时,非弹性碰撞的概率还是很小的。

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等离子清洗机在硅晶圆和芯片行业的应用 硅晶圆、芯片和高性能半导体是极其敏感的电子元件。 (等离子表面处理设备)随着这些技术的发展,我们将跟进制造的低压等离子技术工艺。大气压下等离子技术的发展开辟了新的应用可能性(等离子表面处理设备)。等离子清洗机发挥了重要作用,特别是在全自动化生产的趋势下。除了纯技术功能外,手机行业的等离子清洁器应用在当今的消费电子市场中。

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