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然后在制造过程中容易出现灰尘,如何提高sic的亲水性或者有机物等污染,极易对晶圆造成损伤,使其短路,为了消除这些过程中的问题,在后期的过程中,引入了等离子表面处理器设备进行预处理,并使用了等离子等离子清洗机设备。等离子体表面处理器设备被用来更好地保护我们的产品,等离子体设备被用来去除表面的有机物和杂质,而不破坏晶圆表面的性能。在LED注入环氧胶的过程中,污染物会导致气泡形成率高,从而导致产品质量和使用寿命低。