等离子体处理聚合物表面发生的交联、化学改性、刻蚀主要是因为等离子体使聚合物表层分子发生断键生成大量的自由基。实验说明，等离子体处理表面产生羟基随着等离子处理时间的延长、放电功率增大,生成的自由基强度增加,达到最大点后进入一种动态平衡;放电压力在某一定值时,自由基强度出现最大值，即在特定条件下等离子体对聚合物表面反应的程度最深。
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