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等离子清洗机的等离子化学反应:等离子清洗机中等离子引起的化学反应可以分为三个阶段:在等离子体产生阶段,不锈钢附着力怎么提高的在这个阶段会产生许多能量较高的电子和离子。在反应分子的活化阶段,等离子体中的高能电子与反应分子发生碰撞,从而改变反应分子的内能并引发反应。 ,反应分子的激发、解离、电离产生的活性种变得不稳定,它们之间发生各种化学反应,产生反应产物。等离子体中的化学反应可分为均相反应、异相反应和光化学反应。

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从上图可以看出,在一组电极上施加射频电压(频率约为几十MHZ),电极之间形成高频交变电场。在交变电场的激发下,该区域内的气体产生等离子体。活性等离子体对被清洗物料表面进行物理轰击和化学反应的双重作用,使被清洗物料表面的物料变成颗粒和气态物质,通过真空排出,达到清洗目的。

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等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合。

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