目前,附着力促进剂6109集成电路生产主要以8英寸和12英寸硅片为主。 12 英寸硅片的芯片线宽主要为 45NM 到 7NM。 12英寸硅片的市场份额正在增加。从 2009 年的 50% 到 2015 年的 78%。 %,预计 2020 年将超过 84%。蚀刻 12 英寸硅晶片所需的单晶硅材料的尺寸通常超过 14 英寸。该公司目前占14英寸产品收入的90%以上。也就是说,硅片越大,技术难度越大,对制造工艺的要求也越高。

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更换真空等离子装置真空泵油的具体程序: 打开真空泵加油口处的油塞(六角扳手)。打开加速器油塞(注意旋钮开关的方向)。 );油,从加注口注入新油,在下限以上加适量。用六角扳手拧紧油塞。注意:更换时要注意纯专用油,并清理泵内用过的油。员工在换油时必须戴上橡胶手套和口罩。正确安全地处理废油。泵排气口与油雾过滤器连接,去除真空泵排出的油雾的90%以上,防止污染作业环境,有助于降低噪音。过滤后的油必须从油底壳中排出阀体。

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主要电气控制部分包括:真空泵、射频功率、真空计,计时器,流量计,绿色电源指示灯,蜂鸣器,功率调节器,空按钮(自锁),一个按钮(自锁)气体,气体的第二个按钮(自锁),高频电源按钮(自锁)、真空泵按钮(自锁),总功率旋钮开关。如果你有任何问题有疑问或想知道,附着力促进剂6109欢迎咨询等离子技术厂家。。

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